四川省某半導(dǎo)體企業(yè)超純水項目介紹

　　半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)的時候需要大量的清洗水，隨著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展，對清洗水的電導(dǎo)性、離子含量、TOC、DO、Particles要求也越來越嚴(yán)格。由于半導(dǎo)體用超純水對多項指標(biāo)的高要求，所以在半導(dǎo)體行業(yè)，超純水不同于其他行業(yè)對水的要求，半導(dǎo)體行業(yè)對超純水有嚴(yán)格的水質(zhì)要求。

　　在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，硼是P型雜質(zhì)，過量會使n型硅反型，對電子、空穴濃度有影響。因此在超純水行業(yè)中，要充分考慮硼的脫除。《Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries》(ASTM-D5127-13)標(biāo)準(zhǔn)中E1.3中要求硼離子≤0.05μg/L。如果硼離子含量能夠達(dá)到更低的指標(biāo)，勢必會提升半導(dǎo)體的性能。

　　萊特萊德超純水設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定的制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水，不會因?yàn)闃渲偕Ｖ惯\(yùn)行，設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計相對靠緊，所以其占地較小，可以為企業(yè)節(jié)省很多空間，工業(yè)用超純水設(shè)備在出廠前均需進(jìn)行裝置調(diào)試，所以設(shè)備故障幾率較小，日常保養(yǎng)、維修等操作都十分簡單。目前，超純水設(shè)備已在諸多項目在運(yùn)行，應(yīng)用優(yōu)勢顯著。

　　萊特萊德超純水設(shè)備應(yīng)用于某半導(dǎo)體企業(yè)

　　一、項目名稱：四川省某半導(dǎo)體企業(yè)超純水項目

　　二、項目地址：四川省

　　三、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

　　《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)

　　《Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries》(ASTM-D5127-13)

　　四、項目工藝：

　　Huncotte系統(tǒng)選用核子級樹脂，通過獨(dú)有的靶向離子交換樹脂，能夠有效控制系統(tǒng)出水的硼離子含量，硼離子含量通過IPC-MS檢測，硼離子出水≤0.005μg/L遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于ASTM-D5127-13標(biāo)準(zhǔn)中E1.3中要求硼離子≤0.05μg/L。相信更優(yōu)質(zhì)的超純水，可以給半導(dǎo)體帶來更好的性能，給半導(dǎo)體企業(yè)帶來更強(qiáng)的優(yōu)勢。

　　萊特萊德長年致力于水處理設(shè)備的開發(fā)、研制和生產(chǎn)，積累了豐富的水處理技術(shù)制造經(jīng)驗(yàn)，擁有專業(yè)的加工設(shè)備，齊全的檢測手段，完善的質(zhì)保體系以及合理的售后服務(wù)。