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超純水(UPW)是指電阻率達(dá)到18 MΩ·cm(25℃)的水。這種水中除了H2O外,幾乎沒有什么雜質(zhì)或其他離子。超純水可以分為國標(biāo)《電子級水》和美標(biāo)《電子和半導(dǎo)體超純水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》。那么,哪些行業(yè)能夠用到純度很高的超純水呢?
1、光伏行業(yè)超純水
太陽能屬于可再生能源的一種,具有儲量大、清潔無污染、可再生、就地可取等特點(diǎn),因此推動新能源領(lǐng)域尤其是光伏行業(yè)的發(fā)展,成為了世界各國的共識。目前國內(nèi)的太陽能光伏產(chǎn)業(yè)主要生產(chǎn)資源集中在:多晶硅提純,拉單晶,多晶硅鑄錠,切片,太陽能電池片,組件上的等,這些生產(chǎn)工藝中主要動力需求包括:超純水,電源,特氣。
2、電子芯片行業(yè)超純水
芯片的制造過程非常復(fù)雜,其中芯片清洗是一個非常重要的步驟,而超純水恰好在其中起著重要的作用。電子芯片的生產(chǎn),幾乎每道工序需要超純水進(jìn)行清洗,超純水中的離子含量對產(chǎn)品有著很大的影響。因此,擁有一套可以連續(xù)穩(wěn)定地制備高品質(zhì)超純水的超純水設(shè)備,生產(chǎn)出出水水質(zhì)符合芯片生產(chǎn)用水要求十分重要。
3、硅晶圓材料超純水
什么是硅晶圓?晶圓就是半導(dǎo)體電路所用的硅晶片,簡單來說就是一種承載物,為了制成半導(dǎo)體積體電路的原材料。作為半導(dǎo)體電路的重要組成部分,硅晶圓的生產(chǎn)至關(guān)重要。硅晶圓對純度要求很高,因此對于水質(zhì)也有著超高的要求,其清洗用水多為高質(zhì)量的超純水,超純水質(zhì)量也影響著硅晶圓產(chǎn)出的質(zhì)量。
4、TFT顯示材料行業(yè)超純水
TFT即薄膜場效應(yīng)晶體管,屬于有源矩陣液晶顯示器中的一種。一般TFT的反應(yīng)時間比較快,約80毫秒,而且可視角度大,一般可達(dá)到130度左右,主要運(yùn)用在高端產(chǎn)品。TFT顯示材料對用水的要求是非常精細(xì)和嚴(yán)格的,必須要用電阻率大于18MΩ*cm的超純水。
5、氫氟酸行業(yè)用超純水
電子級氫氟酸是氟精細(xì)化學(xué)品的一種,主要用于去除氧化物,是半導(dǎo)體制作過程中應(yīng)用較多的電子化學(xué)品之一。中國電子氫氟酸進(jìn)入成熟階段,仍需要不斷探索,畢竟高品質(zhì)電子級氫氟酸的制備除需要進(jìn)行工藝提純創(chuàng)新外,還需要配套產(chǎn)業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新。
無水氫氟酸或工業(yè)級氫氟酸通過精餾、超純水吸收后純化,并經(jīng)0.2μm以下超濾等工序后,可制得高純且超凈的電子級氫氟酸,技術(shù)難度大。由此可知超純水對于氫氟酸行業(yè)的重要性。
以上就是小編為大家介紹的超純水的應(yīng)用領(lǐng)域。超純水純度高,目前在電子半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用廣泛。今后小編會繼續(xù)為大家介紹超純水的相關(guān)內(nèi)容,請大家繼續(xù)關(guān)注。
技術(shù)資料
萊特萊德工程案例