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在科技日新月異的當(dāng)下,電子行業(yè)迅猛發(fā)展,改變了人們的生活方式,而電子芯片無(wú)疑是這場(chǎng)變革的核心驅(qū)動(dòng)力。芯片技術(shù)堪稱(chēng)現(xiàn)代 IT 技術(shù)的基石,其重要性不言而喻。芯片制造是一個(gè)極其復(fù)雜且精密的過(guò)程,除了依賴(lài)工廠硬件設(shè)施,還需要持續(xù)消耗大量高純度的化工原料,其中超純水在整個(gè)生產(chǎn)流程中扮演著不可或缺的角色。
芯片生產(chǎn)所使用的硅片,在投入生產(chǎn)前必須進(jìn)行極為徹底的清洗。硅片清洗對(duì)于超純水的需求量極大,這是由芯片制造對(duì)硅片純度的嚴(yán)苛要求所決定的。芯片的高精度和高性能特性,使得哪怕極微量的雜質(zhì)殘留都可能對(duì)芯片的性能產(chǎn)生嚴(yán)重影響。因此,為確保每一片硅片都能達(dá)到生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn),需要大量超純水進(jìn)行清洗作業(yè),這清晰地表明芯片行業(yè)對(duì)超純水有著龐大的需求。
回顧超純水制取工藝的發(fā)展歷程,傳統(tǒng)工藝多采用離子交換樹(shù)脂。然而,這種工藝存在明顯的短板,需要頻繁進(jìn)行樹(shù)脂再生操作。這一過(guò)程不僅需要耗費(fèi)大量的物力資源,人工成本也相當(dāng)高昂,給企業(yè)的生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)帶來(lái)較大負(fù)擔(dān)。鑒于此,行業(yè)不斷探索新的工藝方法。經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期實(shí)踐與研發(fā),像萊特萊德采用的反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備及拋光混床相結(jié)合的工藝應(yīng)運(yùn)而生。該工藝摒棄了傳統(tǒng)工藝的弊端,不僅更加環(huán)保,還具備顯著的經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢(shì),展現(xiàn)出巨大的發(fā)展?jié)摿?,為超純水制備提供了更為高效、?yōu)質(zhì)的解決方案。
超純水設(shè)備綜合運(yùn)用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等一系列方法,能夠近乎完全地去除水中的導(dǎo)電介質(zhì),同時(shí)將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物降低至極低含量,從而產(chǎn)出符合芯片制造嚴(yán)苛水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的超純水。此外,超純水設(shè)備還配備了濃水置換專(zhuān)業(yè)技術(shù),有效防止膜系統(tǒng)遭受微生物污染。通過(guò)不斷優(yōu)化技術(shù)體系,設(shè)備能夠提高系統(tǒng)回收率,降低能耗與運(yùn)行成本,進(jìn)一步契合芯片行業(yè)大規(guī)模、低成本生產(chǎn)的需求。
隨著芯片行業(yè)的持續(xù)發(fā)展,對(duì)芯片性能和集成度的要求將不斷提高,這必然促使對(duì)超純水的質(zhì)量和供應(yīng)量的需求同步增長(zhǎng)。芯片行業(yè)對(duì)超純水設(shè)備的依賴(lài)程度會(huì)越來(lái)越高,同時(shí)也對(duì)超純水設(shè)備的性能、穩(wěn)定性以及成本控制等方面提出了更為嚴(yán)格的要求。超純水設(shè)備的技術(shù)創(chuàng)新和升級(jí)將成為推動(dòng)芯片行業(yè)發(fā)展的重要因素之一。
技術(shù)資料
萊特萊德工程案例