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在現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展的浪潮中,電子元器件作為核心基礎(chǔ)零部件,占據(jù)著戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵地位,是支撐各類新興產(chǎn)業(yè)前行的重要基石。近年來,電子元器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展勢頭極為迅猛,產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)張的同時,質(zhì)量效益也顯著提升,為經(jīng)濟(jì)發(fā)展注入源源不斷的強(qiáng)勁動力。
電子元器件產(chǎn)業(yè)鏈的上游涵蓋多種重要原材料,像光電材料、半導(dǎo)體材料、磁性材料等。在半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié),超純水的身影無處不在,從晶圓沖洗、化學(xué)稀釋,到化工機(jī)械研磨,再到潔凈室環(huán)境的加濕等眾多場景,都離不開超純水的參與。超純水的質(zhì)量優(yōu)劣,直接與半導(dǎo)體的良品率掛鉤,對半導(dǎo)體元器件的生產(chǎn)質(zhì)量起著決定性作用。以超純水設(shè)備為例,其采用獨(dú)特的靶向離子交換系統(tǒng),能夠有效去除超純水中的硼離子,使硼離子含量維持在極低水平,同時還能持續(xù)穩(wěn)定地產(chǎn)出高純度超純水。憑借出色性能,該設(shè)備在晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍、試劑稀釋、氟化工等多個領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
超純水設(shè)備融合了反滲透系統(tǒng)、EDI 裝置以及拋光混床工藝,能近乎完全去除水中的導(dǎo)電介質(zhì),同時將水中的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物降低到極低含量。設(shè)備的 EDI 處理裝置產(chǎn)生的廢水較少,對環(huán)境友好,具備較高的環(huán)境效益和經(jīng)濟(jì)效益。經(jīng)過技術(shù)升級的精混床,運(yùn)行更加穩(wěn)定,無需復(fù)雜操作就能確保出水水質(zhì)符合芯片生產(chǎn)用水標(biāo)準(zhǔn),為企業(yè)有效降低生產(chǎn)成本。
超純水設(shè)備產(chǎn)出的超純水,滿足 ASTM D5127 - 13 中 E1.3 水質(zhì)指標(biāo),完全契合半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)的用水需求。憑借持續(xù)穩(wěn)定制備高品質(zhì)超純水的能力,超純水設(shè)備有力推動半導(dǎo)體企業(yè)的發(fā)展,助力企業(yè)在激烈的市場競爭中脫穎而出,提升市場競爭力。
技術(shù)資料
萊特萊德工程案例